壓電比例閥利用壓電元件與半導(dǎo)體傳感器，通過 對(duì)電氣比例信號(hào)的調(diào)節(jié)，可高精度、高響應(yīng)、無 噪音的對(duì)氣體的壓力與流量進(jìn)行無級(jí)控制。 壓電比例閥利用壓電元件與半導(dǎo)體傳感器，通過 對(duì)電氣比例信號(hào)的調(diào)節(jié)，可高精度、高響應(yīng)、無 噪音的對(duì)氣體的壓力與流量進(jìn)行

特征

FEATURES

1、高精度氣體控制

2、低溫漂特性

3、反應(yīng)靈敏，響應(yīng)時(shí)間在0.7s以內(nèi)

4、不限定氣體種類(采用流量轉(zhuǎn)換系數(shù)，以N2校準(zhǔn)為基準(zhǔn)、可對(duì)應(yīng)各種氣體)

5、高精度特氣測(cè)控技術(shù)

6、安裝方向任意(可自由安裝)

原理圖如下：

選型目錄：

元級(jí)控制。